上海伯東代理日本 atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 aston™ 為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì), 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái), aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ald, cvd, 蝕刻, ale 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供所未有的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
更新時(shí)間:2025-06-24