�ҹ�˾�ṩ�ɹ���ʯӢ�ܣ�����ʯӢ�ܣ�����ʯӢ�ܣ���(k��)����ʯӢ�ܣ���(k��)����ʯӢ�ܣ��|(zh��)��?j��)?y��u)�����gӭʹ�ã�
FM-CVD ʯӢ��ʽ�����x���w�b��
ʯӢ��ʽ�����x���w�b�����ҏS���T���W(xu��)���о��C(j��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ(j��)��С�ͻ��a(ch��n)Ʒ�������ڱ�Ĥ���ϵ��Ƃ�͵��x���w�����ȷ�����о������������e�m���ڴ��Ќ��W(xu��)У�IJ��ϡ����W(xu��)�����c��ˇ�������Ȍ��I(y��)�ČW(xu��)����(sh��)�(y��n)��ԓ�b���������ܼ���(l��)ϡ�����w�����ʯӢ���Юa(ch��n)����(w��n)�B(t��i)���x���w��ͨ�^ͨ�벻ͬ�Ĺ������w�����M(j��n)�й��ܱ�Ĥ���ϵ��Ƃ䡢���W(xu��)�ϳɡ�������g�����x���w�\��ȶ��Č�(sh��)�(y��n)��
һ��FM-CVD ʯӢ��ʽ�����x���w�b����Ҫ����
1. 2.45GHz��0~500W�������B�m(x��)���{(di��o)���ɝM�㲻ͬ��(sh��)�(y��n)��Ҫ�� 2. ��50mm��ʯӢ������ң�����һ��(g��)�^�촰��һ��(g��)�\�ര�ڣ���
�N��(sh��)�(y��n)�����M(j��n)�У� 3. ʯӢ�ܲ���ˮ��s�����b���ڸ߹��ʗl���°�ȫ�\(y��n)�У� 4. ������3·���w��·�����w�������Ʒ��㣻 ��՜y(c��)��ϵ�y(t��ng)�������y�T��������������խh(hu��n)����
�������͌�(sh��)�(y��n) 1. ���x���w���W(xu��)������e A���⣩+B���⣩→ C���̣�+D���⣩ ����(y��ng)���wA��B�����l(f��)����x���w��B(t��i)�� ����Ի��F(tu��n)�l(f��)������(y��ng)��������Ҫ�Ĺ̑B(t��i)����e�ڻ�Ƭ�ϣ��ɏV�����ڱ�Ĥ��{�ײ��ϵĺϳɡ������ʯ��Ĥ����̼��Ĥ��̼�{�ײ��ϵȡ� 2. ���x���w������g A���⣩+B���̣�→ C���⣩ ����(y��ng)���wA �����l(f��)����x���w��B(t��i)�c���wB����ԭ�Ӱl(f��)������(y��ng)���ɚ�B(t��i)��C�������ڼ����·�Ŀ��g��(sh��)�(y��n)�� 3. ���x���w������(y��ng) ���õ��x���w���S���Ļ��Գɷ֣�������Ϳ�Ҋ���ӡ���ӡ��x�ӡ����ɻ����߷���(y��ng)�Ե����Գɷ֣������ԭ�ӣ��ܼ�ԭ�ӑB(t��i)���Ķ����l(f��)�ڳ�Ҏ(gu��)���W(xu��)����(y��ng)�в��ܻ���y��(sh��)�F(xi��n)�Ļ��W(xu��)����(y��ng)�� 4. ���x���w������� A���⣩+B���̣�→ C���̣� ����(y��ng)���wA �����l(f��)����x���w��B(t��i)�c���wB����l(f��)������(y��ng)�����µĻ�����Ķ��_(d��)����׃B���|(zh��)�������|(zh��)��Ŀ�ġ��ɏV�����ڸ߷��Ӳ��ϡ����ٲ��ϼ������t(y��)�ò��ϵı�����Ԍ�(sh��)�(y��n)��
UNS��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)
�V����(y��ng)����ʯ�͡������������ұ����ИI(y��)���N��Һ�w������偠t�ϣ���ˮ�����͡�Һ���⡢Һ������������佡���ϩ�����N�������Ʒ�ͻ���ԭ�ϵ�Һλ�y(c��)����ͬ�r(sh��)�m���ڃɷN��ͬ���|(zh��)�ܶȵĽ���y(c��)����
UNS(UGS)ϵ�в�ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)(���º�(ji��n)�Q��ɫҺλӋ(j��))�LJ�(gu��)��(n��i)��߿Ƽ����g(sh��)�����ƽY(ji��)����������ͨ������ҺλӋ(j��)����?li��n)Q���a(ch��n)Ʒ����ɫҺλӋ(j��)���b�ڸ��N������偠t�ϣ�ֱ���^�y(c��)��Һλ׃����Һ���@ʾ�ʬF(xi��n)�Gɫ�������@ʾ�ʬF(xi��n)�tɫ������y(c��)������ɫ�ֽ��档
Һ�����@ʾ����ܴ����h(yu��n)���x�^�졢ҹ�gѲҕ�r��������
���ɹ��ؿ˷�����ͨ��ʽҺλӋ(j��)���ء��ܷ���e���םB©���@ʾ���������ںܽ����x��(n��i)�y���Д��ȱ�c(di��n)��
UNS��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)���c(di��n)��
Һ�������@ʾ�������o(w��)ä�^(q��)���ܷ����ܺá��ߜء��߉�����ճ���������p�������L(zh��ng)���o(w��)й©���Y(ji��)��(g��u)��(ji��n)�Ρ��_ϴ���S�o(h��)���㡣
UNS��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)��Ҫ���g(sh��)����(sh��)��
1�����Ƶ�99.99��SiO2��ʯӢ�ܣ���׃���c(di��n)1077�棬ܛ���c(di��n)1730�棬������(qi��ng)��1170Kgt/cm2����Ûϵ��(sh��)5.5��10-7����(j��ng)���ˇ̎��������ߜأ��߉��̓�(y��u)���ęC(j��)е���ԡ�
2������������1.6 2.5 4.0 6.3MPa
3�������ضȣ�-50��+520��
4���y(c��)������L���y(c��)�����������ľ���ƶ���300��500��800��1100��1400��1700��2000mm��偠tˮλӋ(j��)��300��400��440mm������Ҏ(gu��)��Ո(q��ng)ע���ߴ硣
5����������A�ף���������1.0MPa���ӹܳߴ�G1/2��(n��i)�ݼy
6�����m�B�ӳߴ磺���û�������(sh��)ʩ��HG20592��20635-97���m��(bi��o)��(zh��n)��
7���Ñ������������m��(bi��o)��(zh��n)��Ո(q��ng)?ji��n)�ӆ؛�r(sh��)ע����
8������Ԅ�(d��ng)���]����������0.2MPa
9��������15��30Kg UNS-A��B�@ʾ�߶��c�y(c��)�������P(gu��n)ϵ��(�@ʾ�߶ȼ���(bi��o)�߸߶�)
���P(gu��n)�a(ch��n)Ʒ朽�:
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)�a(ch��n)Ʒ����
UGS��UNS��ϵ�в�ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)�����º�(ji��n)�Q��ɫҺλӋ(j��)���Dz��Ç�(gu��)��(n��i)�����¼��g(sh��)���ƶ��ɡ�����������Ȼ����Һ�w���ۡ�����ԭ���������ڼt���GƬ���ڜy(c��)���r(sh��)��ʹҺ���@ʾ�Gɫ�������@ʾ��tɫ������Һ�����@ʾ�����ָʾ�r�����������Ԍ�(du��)�h(yu��n)���x������ҹѲҕ�������������UGS��ɫʯӢ��ϵ�б��V������ʯ�͡������������ұ����ИI(y��)�ĸ��N��Һ�w������偠t�ϣ���ˮ�����͡�Һ���⡢Һ�������顢��ϡ�����N�������Ʒ�ͻ���ԭ�ϵ�Һλ�y(c��)����ͬ�r(sh��)��(du��)�ڃɷN��ͬ���|(zh��)�ܶȵĽ���y(c��)�������x����ɫ����ʯӢ��ҺλӋ(j��)����ɫ����ʯӢ��ҺλӋ(j��)�����ø����c���ز��ԭ�����O(sh��)Ӌ(j��)�ģ�ʯӢ���е�С���ӑҸ��ڃɷN���|(zh��)�ķֽ粿�֣����ڸ��ӳʺ�ɫ�����²���Һ�w�ɫ�Ю��������@ʾ��Ŀ���Ķ���Q��һֱ���_��ʯ�ͻ������a(ch��n)�^���ЃɷN��Ͻ��|(zh��)����ֱ治����y�}������Ŀǰ��(gu��)��(n��i)���������ֱ�xʽҺλӋ(j��)��
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)��͈DƬ
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)ʹ���f(shu��)��
�a(ch��n)Ʒ���Q | ��̖(h��o) | ��;��ʹ�È�(ch��ng)�� |
��ͨ��Һ��Ӌ(j��) | UGS-A | ҺλӋ(j��)�ɶ˞��y�T���y�T����ȫ�b�á���(d��ng)ʯӢ�������Ɠp�r(sh��)���ܷ�ֹ������(n��i)���|(zh��)�����������y�Tͨ�����^С���������m�Ϝy(c��)����ճ�Ƚ��|(zh��)�� |
ֱͨ��ҺλӋ(j��) | UGS-B | �ɶ˲�����ͨ���m�B�ӣ��o(w��)��ȫ�b�á����ڿڏ�20mm���ɜy(c��)���^ճ�����|(zh��)��Һλ |
�o(w��)ä�^(q��)ֱͨ�� | UGS-C | �ɶ˲�����ͨ���m�B�ӣ��o(w��)��ȫ�b�á����ڿڏ�20mm���ɜy(c��)���^ճ�����|(zh��)��Һλ���y(c��)�������c�@ʾ�߶�ͬ�� |
��ɫҺλӋ(j��) | UGS-A��B��C-1 | �y(c��)�����o(w��)ɫҺ�wҺλ�������ҹ⾀�^�È�(ch��ng)�� |
�����A���� | UGS-A��B��C-2 | �����������A�ף�������⺮���(ch��ng)�� |
��˪��Һ��Ӌ(j��) | UGS-A��B��C-3 | ���ӷ�˪�b�ã�ʹ���ڵ͜ؽ��|(zh��)������͜ؽ��|(zh��)��������˪ |
������ҺλӋ(j��) | UGS-A��B��C-4 | �y(c��)����ɫҺ�wҺλ�������ҹ⾀�^����ҹ�g�O(ji��n)�y(c��)��(ch��ng)�ϣ����������b�� |
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)��̖(h��o)�x��
UGS | A | | �y�T����ȫ�b�� | �Y(ji��)��(g��u)��ʽ | |||||
| B | | �������y�o(w��)��ȫ�b�� | ||||||
C | | �o(w��)ä�^(q��) | |||||||
| 1 | | ��ͨ�� | �����b�� | |||||
2 | | �������A���� | |||||||
3 | | ����˪�b���� | |||||||
4 | | �������b���� | |||||||
| S | | �y(c��)��Һλ���pɫ�� | �y(c��)������ | |||||
J | | �y(c��)�����棨��ɫ�� | |||||||
| A | | ���m�B��DN20��25 | �B����ʽ | |||||
G | | �ݼy�B��G3/4″ | |||||||
| 1 | | 1.6 | ���Q������MPa�� | |||||
2 | | 2.5 | |||||||
3 | | 4.0 | |||||||
4 | | 6.4 | |||||||
5 | | 10.0 | |||||||
| C | | ̼� | ��Һ���|(zh��) | |||||
F | | ���P䓣�304��316L�� | |||||||
| 03 | 300 | �y(c��)��������mm�� | ||||||
05 | 500 | ||||||||
08 | 800 | ||||||||
11 | 1100 | ||||||||
14 | 1400 | ||||||||
17 | 1700 | ||||||||
20 | 2000 | ||||||||
X | ����Ҏ(gu��)��ߴ�X��ӳߴ电(sh��)�� |
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)�y(c��)������
�y(c��)������L | 300 | 500 | 800 | 1100 | 1400 | 1700 | 2000 |
�@ʾ�߶�H | 100 | 300 | 600 | 900 | 1200 | 1500 | 1800 |
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)��Ҫ���g(sh��)����(sh��)
�������ضȣ���520�� ��UGSʯӢ��ϵ�й���������1.6��2.5��4.0��6.4��10.0MPa ����������A�ף���������0.6MPa���ӹܳߴ�G1/2″���ݼy�������Ƶ�99.99%SiO 2 ��ʯӢ�ܣ���׃���c(di��n)1077�棬ܛ���c(di��n)1730�档���㉺��(qi��ng)��1170Kg/cm3 ����Ûϵ�y(t��ng)��(sh��)5.5×10-7����(j��ng)���ˇ̎��������ߜء��߉��̓�(y��u)���ęC(j��)е���ԡ���UGSʯӢ��ϵ�Мy(c��)������L���y(c��)�����������ľ���ƶ���300��500��800��1100��1400��1700��2000mm������Ҏ(gu��)��Ո(q��ng)ע���ߴ硣���ӿڷ��m�����û�����1997�������C�l(f��)��HG20592~20635-97���m��(bi��o)��(zh��n)�����mͨ��DN20��DN25�����Ñ������������(bi��o)��(zh��n)����GB��ANSI�Ș�(bi��o)��(zh��n)���ɸ���(j��)�Ñ���Ҫ�O(sh��)Ӌ(j��)������Ԅ�(d��ng)���]����������0.2MPa����15~30kg��
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)�Y(ji��)��(g��u)�����c(di��n)
UGS��UNS��ϵ�в�ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)��������Ȼ����Һ�w���ۡ�����ԭ���������ڼt���GɫƬ���ڜy(c��)���r(sh��)��ʹҺ���@ʾ�Gɫ�������@ʾ��tɫ������Һ�����@ʾ�����ָʾ�r�����������Ԍ�(du��)�h(yu��n)���x������ҹѲҕ����������UGSʯӢ��ϵ�нY(ji��)��(g��u)��(ji��n)�Ρ����b�S�o(h��)���㡢���g���o(w��)���Դ��������Һ�������@ʾ�������o(w��)ä�^(q��)���ܷ����ܺá��ߜ��߉����� ճ���������p�� �����L(zh��ng)���o(w��)й©��
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)�� �c(di��n)
�� �Y(ji��)��(g��u)��(ji��n)�Ρ��S���㡣�� ʯӢ����ʹ�ð�ȫ�����á��� ��ɫʯӢ���͞�ֱ�xʽ���x��(sh��)���_���ɿ���
��ɫʯӢ��ҺλӋ(j��)ʹ���֪
�� �鱣�C���ܷ����ã�������(n��i)���|(zh��)������(y��ng)���� 0.2MPa �� �ڴ��_�����y�r(sh��)���y�U�˳��D(zhu��n)��(sh��)�������� 4 �D(zhu��n)������������Է�r(sh��)�������y�U��픶ˡ�
�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)��1.�@ʾֱ�^�������ܷ����ܺ�2.�����ضȸߣ�≤+450��3.���������ߣ�6.4��6.3��MPa4.�m�É����L(zh��ng)���Y(ji��)��(g��u)��(ji��n)�Ρ����b�S�o(h��)��(ji��n)��5.�����O(sh��)Ӌ(j��)���m�ϱ�ը�ԭh(hu��n)��ʹ��
���͑�(y��ng)�ý��|(zh��)�� ��Ҫ���������^���Ľ��|(zh��)���磺ˮ���p�͡��ƾ���Һ���⡢��ϩ����ϩ����AҺ���}��Һ��偠t����ˮλ���c̼䓻��P����ݵĽ��|(zh��)��
�������g(sh��)����(sh��)���y(c��)�����������m���ľࣩ��500��800��1100��1400��1700��2000mm���������ľ�Ʌf(xi��)�̹�؛��偠tˮλӋ(j��)��±150��±200��±220mm�^�y(c��)���������m���ľ��^�y(c��)���ȣ�20mm�@ʾ��ʽ������tɫ��Һ��Gɫ���|(zh��)��̼䓡����P䓣�1Cr18Ni9Ti��304��316L������������1.2-6.4MPa�����ضȣ�̼�≤350�棻���P�≤450�������y��ʽ��G1/2����ֹ�y�B�ӷ��mͨ����DN15��DN20��DN25���m�ܷ��棺ƽ�棨RF�����棨M����������A�ӿڣ�ZG1/2�����ݼy�����������������≤1.0 MPa늰��������ޜضȰ�Ꭷ�����]��(d��ng)��������≥0.3 MPa��Դ�Դ��220VAC�h(hu��n)���ضȣ�-50~+80������ȼ�(j��)��Exia ��CT5
HTAA-SG49W��偠t�pɫʯӢ��ҺλӋ(j��)�Y(ji��)��(g��u)ԭ����
�� ̖(h��o) | HTAA-SG49W | HTAA-B49X |
���^ | С�ɡ��·f | �ֲڡ��^���� |
���b���ľࣨmm�� | 300~2000 | 300~500 |
��ҕ�߶� | 100~1800 | 100~300 |
�������w�e�� | 1.0�� | 1.5�� |
�������� | ≤6.4MPa | ≤4.0MPa |
�����ض� | -10~450�� | -10~250�� |
�S���b�� | ���� | �^�� |
�����b�� | ��������˪�������A�� | ���� |
ʯӢ�ܵļ�(j��)�e
ʯӢ�ܰ������ܲ�ͬ�IJ��(y��u)�ɷ֞� “�ϸ��” → “һ��(j��)��”→“��(y��u)��(j��)��”→“Ó�u��”�� �҂���˾���۵�ʯӢ�ܾ������(j��)�e��Ó�u�ܣ�ʹ�É������͜�����������ʯӢ���ж�����õ���
s ʯӢ�ܵ�����
�ߜ�
ʯӢ������ܛ���c(di��n)�ضȼs1730�棬�����(sh��)�S���ṩ�ă�(y��u)��(j��)ʯӢ������1100�����L(zh��ng)�r(sh��)�gʹ�ã��҂���ʯӢ�ܿ�����1150�����L(zh��ng)�r(sh��)�gʹ�ã��̕r(sh��)�g��5h�ԃ�(n��i)��ʹ�Üضȿ��_(d��)1200����
�ͼ��伱��
�҂����a(ch��n)��Ó�uʯӢ���ğ���Ûϵ��(sh��)�OС���ܳ��܄��ҵĜض�׃������ʯӢ�����ӟ���1200�����ң����볣��ˮ��Ҳ����(hu��)ը����
���g
��������⣬Ó�uʯӢ�������c����������|(zh��)�l(f��)�����W(xu��)����(y��ng)���������������մɵ�30�������P䓵�150�����������ڸߜ��µĻ��W(xu��)��(w��n)���ԣ��������κι��̲��϶��o(w��)���ȔM�ġ�
�҂����ṩ��Ҏ(gu��)���У�
ʹ���е�ע�����(xi��ng)
1. ʯӢ����ʹ���������Ժ��������ϴ����(n��i)��ܱڣ���?y��n)�ijЩ���_��Ԫ���ڸߜ�?z��)��Y(ji��)�^���Е�(hu��)��(du��)ʯӢ����������F(xi��n)���ַQʧ��
2. ����(j��)�҂��Ĵ����y(c��)ԇ�����w��Һ������ʯӢ�ܱ��ڣ��ڸߜؼӟ���ų���(hu��)���F(xi��n)�����F(xi��n)���������÷�ʯӢ�ܕr(sh��)��ô������ף����⺹Һ������ʯӢ�ܱ��ڡ�
�͑����Ը���(j��)�����Ʋ�ͬ�ߴ��cҎ(gu��)���ʯӢ�ܣ��⏽5mm~300mm��
ʯӢ�ܣ�ʯӢȼ���ܡ�ʯӢ�ѽ�ܣ���������ɹ����� ���W(xu��)�l(f��)�ⶨ���x����
�ɹ���ʯӢ�ѽ�ܼ��g(sh��)����(sh��)�� �y(c��)����������0.1mg/L��10000mg/L �ɜy(c��)��Ʒ��B(t��i)�����w��Һ�w�����w��������(y��ng)�M(j��n)�������� �؏�(f��)���`�X��1.0mg/L�r(sh��)��Cv≤50%�� 1.0mg/L≤X≤10mg/L�r(sh��)��Cv≤10%�� X��10mg/L�r(sh��)��Cv≤5%�ɹ���ʯӢ�ѽ����;������ɹ���y(c��)���x���ã���������ɹⷨ�y(c��)�����N��Ʒ�е�������
ʯӢ�ܣ�ʯӢȼ���ܡ�ʯӢ�ѽ�ܣ���������ɹ����� ���W(xu��)�l(f��)�ⶨ���x����
�ɹ���ʯӢ�ѽ�ܼ��g(sh��)����(sh��)�� �y(c��)����������0.1mg/L��10000mg/L �ɜy(c��)��Ʒ��B(t��i)�����w��Һ�w�����w��������(y��ng)�M(j��n)�������� �؏�(f��)���`�X��1.0mg/L�r(sh��)��Cv≤50%�� 1.0mg/L≤X≤10mg/L�r(sh��)��Cv≤10%�� X��10mg/L�r(sh��)��Cv≤5%
�ɹ���ʯӢ�ѽ����;������ɹ���y(c��)���x���ã���������ɹⷨ�y(c��)�����N��Ʒ�е�������ʯӢ�ܣ�ʯӢȼ���ܡ�ʯӢ�ѽ�ܣ���������ɹ����� ���W(xu��)�l(f��)�ⶨ���x����
늽�غ�ʯӢ��
��˾��V���Ñ��ṩ��x������͂�����gӭ�xُ(g��u)��
����������(k��)���ζ��أ����ȡ������}��ˮ����r(ji��)����ָ��(sh��)������
��������ʯӢ�ѽ�ܣ��p���ѽ�ܡ������ѽ�ܡ����w���ѽ�ܡ����W(xu��)�l(f��)�ⶨ���ѽ�ܡ�����
����������(bi��o)��(zh��n)��Ʒ�͌�(du��)��Ʒ�����ȡ������}��ˮ����r(ji��)����ָ��(sh��)������
��������늽�Һ���o(w��)���kfԇ��������