| ��Ҫ���c | |
| |
| �x����B | |
|
׃ɫÓ����
�gӭ�V���̼ҿ͑�ǰ����ԃǢՄ�������õ��M��Ĵ��ͣ�
Ҏ�����30mm×270mm����ʽ�֞鲻�P��ͺ��ЙC��������׃ɫ�����ɷN������Óȥ�d���К��������⡢ˮ�ּ��N�����ʹ����ë���ܚ���ɫ�Vϵ�y��ECD�z�y���䣬�������ɫ�V��ʹ�É�����ʹ�����Y���������P��Ϳ�������������
���P����� ��HY-20
������Ó���ܡ�HY-20A��
����˾�aƷ���|�����r����������յ�λ��
| ̖ | ���w | ԭ�� | �ض� | ���ppm | Ҏ��mm | Ó���s�|�� | ����L/min | ����MPa | ׃ɫ |
|
| N2 H2 C2H4 Ar He | ���W ���� | �Ҝ� | O2<0.01 | 22×250 | 1.5L O2 | 5 | 0.5 | �Gɫ׃�� |
�� �� : *
ϵ � Ԓ ��0 1 0 –5 8 4 3 1 7 8 1 / 8 0 3 3 6 3 7 3
Q Q ̖��*