主要技術規格：
1、測量表面光潔度范圍：▽3-▽9（相當不平度0.8-80um）
2、表面光潔度（級別）：9、8-7、6-5、4-3
3、所需物鏡：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、 14倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12
4、總放大倍數：510X、260X、120X、60X
5、物鏡組件工作距離（mm）:0.04、0.2、2.5、9.5
6、視場（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5
7、不平寬度：用測微目鏡：0.7微米~2.5毫米
用座標工作臺：（0.01~13）毫米
8、儀器重量約： 23公斤